別盲目高興！EUV光刻機離中國還很遠、很遠

在中國半導體行業面臨美國製裁陷入困境之際，國內近日傳出三則消息，其中一則不好的消息，就是眾所周知的武漢弘芯千億芯片“騙局”終結。而弘芯在2019 年底為號稱 “國內唯一一臺能生產7納米芯片”的 ASML 光刻機（NXT：1980Di ）舉辦了進廠儀式，但如今項目工程早已停滯甚至近乎爛尾。

另外兩個好消息：

一個是說清華大學科研團隊正式宣佈，已經完成對新型粒子加速器光源的研發，這個光源的波長可以覆蓋到極紫外波段。

對於芯片製造技術，我們都是外行，但相關報道都說，極紫外光源是EUV光刻機最核心的技術，EUV光刻機的其另一個名稱就是極紫外光刻機。

於是，輿論紛紛表示，從某種意義上來講，中國突破了光源技術，就等於研發EUV光刻機成功了一半。並信心滿滿地說，以清華大學的科研水平，相信用不了多久就能進入工業商用階段。

甚至說ASML曾經戲謔“給你們圖紙，你們也造不出來（光刻機）”是一個笑話。說美國要失算了，我們不僅沒有在光刻難題前戛然止步，反而馬上就要突破了，更要建立自主的芯片產業鏈。

但不要盲目高興！

另一個好消息是中芯國際與荷蘭光刻機制造商阿斯麥簽訂協議，訂購12億美元光刻機。

綜合媒體報道說，3月3日晚間，中芯國際在港交所公告，根據批量採購協議已於2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間，就購買阿斯麥產品與阿斯麥集團簽訂購買單。公告顯示，上述阿斯麥購買單為該期間阿斯麥集團向中芯國際供應用於生產晶圓的機器而作出，阿斯麥購買單的總代價為12.02億美元。

此前，有媒體3月1日報道，為中芯國際提供高製程（14nm及以上）工藝部分產品所需設備的美國設備商，已獲美許可證，而該批次與中芯國際部分成熟製程工藝設備供應商為同次獲批。當日，興業證券研究所也發佈報告對上述消息進行了確認，表示經其產業鏈驗證，中芯國際部分供應商已經拿到相關許可證。

各大媒體都以突出標題報道這一被稱為“突發大利好”的“重磅”消息，畢竟在美國對華為和半導體行業實施芯片技術禁令後，中國面臨的最大困境就是缺乏芯片製造能力，其中EUV光刻機扮演了關鍵角色——這是美國限制華為及半導體行業芯片供應的“殺手鐧”。

但是，似乎高興的太早了！

首先，自主研發EUV光刻機的過程將會是一個極為漫長的過程。

中芯國際董事及聯合首席執行官、臺積電最為重要的技術奠基人之一的梁孟松先生，在離開中芯國際的辭職信中，爆出一個重磅消息，說他已經帶領自己在中芯國際的2000多名隊員，從20nm工藝製程一直攻克到了3nm工藝製程，唯一缺的就是EUV光刻機。

EUV光刻機成為卡脖子的最為關鍵的技術。即使清華大學研發出極紫外光源，但從光刻機的工作原理看，這是一個龐大且複雜的系統工程，每個環節都涉及關鍵性技術和設備，還有製造光刻機的特殊材料。這些都非一蹴而就。

我們要汲取兩個教訓：

一個是華為曾經宣佈的備胎計劃，現在來看是虛的、空的，就是並沒有備胎。任正非後來曾表示，華為海思可以設計出全球最頂尖的芯片，但是國內卻沒有能夠用於生產的EUV光刻設備，否則我們也不會陷入無芯可用的局面。

另一個教訓就是武漢弘芯千億芯片工程的崩塌。芯片製造也好，光刻機制造也罷，都是金字塔尖上的高科技，不是靠大躍進式的投資或靠資金堆積就能搞出來的，而是要踏踏實實的科研，需要人才和技術的積累，來不得半點虛假，更不能搞浮誇。

再者，對於中芯國際與阿斯麥簽訂的購買光刻機協議，雖然要積極爭取落實，也不要過分高興。期望太高，實現不了，失落越大。

實際上，這一協議早就有了，原來的採購協議規定的期限是2018年1月1日至2020年12月31日，但因為美國的禁令，阿斯麥毀約了。今年2月1日，中芯國際與阿斯麥上海簽訂重訂經過修訂和重述的批量採購協議，採購期限延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。

這一協議目前仍然存在巨大障礙，很有可能再次落空。

根據公開材料，目前EUV設備因受到美國禁令或國際協議限制，仍然受到出口管制。所以，有投資者3月2日在互動平臺“上證e互動”向中芯國際求證上述事項時，中芯國際在回應中並未直接證實此事，僅表示“公司會盡最大努力，持續攜手全球產業鏈夥伴，保證公司生產連續性及擴產規劃不受影響。雖然不確定性依然存在，但我們始終堅持依法合規經營，有信心保證公司短期內生產經營不受重大不利影響。”

目前，拜登政府下決心在包括半導體在內的關鍵性科技領域與中國一較高下，宣佈美國的頭號戰略是跑得比中國芯片產業快，要讓中國半導體行業落後美國“兩代”。

美國人工智能國家安全委員會3月1日向國會提交一份長達756頁的報告，呼籲美國政府繼續遏制中國的高端半導體制造能力。據路透社報道，報告建議國會給中國芯片製造技術“收緊命門”，限制中國採購製造先進計算機芯片所需的設備，並與日本、荷蘭等關鍵國家一同制定對華芯片製造設備出口許可政策。

顯然，美國不會放鬆、更不會放棄對中國的芯片出口禁令，也不會允許荷蘭阿斯麥公司將EUV光刻機賣給中國公司，甚至可能要求日本收緊對華出口二手光刻機設備。

日前，英國傳媒報道，正當全球受到晶片短缺問題打擊之際，美國政府審批美國公司向中國半導體生產商的中芯國際（SMIC）出售晶片製造設備的許可，進度仍然緩慢。

美國商務部日前發表聲明，否認對中芯的限制導致晶片短缺，並指短缺的主要是較舊技術的晶片，而對中芯的限制則涉及先進技術。

進一步說，拜登政府已經明確表示，不會將已經列入實體清單的中國科技企業撤出，其中就包括中芯國際。美媒近日報道，包括泛林集團（Lam Research）及應用材料（Applied Materials）等美企要先申請許可，才能向中芯國際出售芯片製造設備。

據悉，中芯國際在去年12月被列入黑名單後，多家美企已向政府申請出售許可，但估計仍有價值約50億美元（約390億港元）的零件和組件的許可仍未審批，近期只有少數昂貴設備的許可獲批。

實際情況是，自特朗普政府將中芯國際列入黑名單後，大部分美企產品的出售許可審批時須考慮個別情況，能夠製造最先進10納米或更小型晶片的設備多數都不獲許可。據美媒報道，拜登政府官員後續詢問中芯國際採購芯片製造設備的零件或組件，是否可用於生10納米或更小晶片，來來回回很多次，導致批出審批進度緩慢。